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直径嘎恍斡:50.8±0.1mm 厚度撇:430±10μm 定位边缎:16±1mm 边缘倒角垃韭:45°
主切割面M-axis嘉:0.2±0.05º,主切割面A-axis畴:0±0.1º, 定位面Aplance锋:0±0.2º
BOW(-6μm≤BOW≤0μm) TTV(≤4μm) LTV(≤1μm(5mm*5mm))
前表面质量恳:外延准备(Ra≤2Å) 背面粗糙度黎嫉磋:0.6-1.0μm 洁净度九撇:大于0.3μm的颗粒小于50个 缺陷渺锤薄:无裂纹激默、气孔列匿、划伤肆瑟、夹杂物蝎伦、双晶 激光打标涉唱:可定制
纯度≥99.996%的单晶AL2O3
直径(φ2.500/-0.05mm φ2.900/-0.05mm φ3.500/-0.05mm φ4.000/-0.05mm φ7.000/-0.02mm)厚度(0.28±0.03mm 0.30±0.03mm 2.00±0.05mm)
主面晶向:C面(0001)光轴与主面垂直度:0±40′
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平行度(<3′<1′<2)平面度(N<2 N<5)
高纯蓝宝石单晶Al2O3
直径哨肋湍:50.8±0.1mm袒撩,厚度损盎:430±10μm道,定位边纳嘘:16±1mm腻,晶片边缘溅旦郎:45°倒角
主切割面 M-axis孟:0.2±0.05º舞玫,主切割面 A-axis戮:0º±0.1º杆,定位面 A Plance谓:0º±0.2º
BOW玻:-6μm≤bow≤0μm厦藤胯,TTV宦:≤4μm钢,LTV(10*10mm)浑眠:≤1μm
前表面质量伦:外延准备(Ra≤2Å)部,背面粗糙度劫:0.85-1.15μm扫,洁净度休:无颗粒鳖黔白、无指纹损伤粮凄剧,缺陷锚俄:无裂纹炼参篮、气孔绵厢牛、划伤涤捶鹅、夹杂物公略媒、双晶江却疙, 激光打标炮柯:无
高纯度的单晶AL2O3
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